非平衡磁控溅射与多弧离子镀及CVD复合镀膜系统

2017-03-17 点击量：

1. 适用于镀超硬纳米膜、自润滑膜等许多膜系
2. 设备可单独安装弧源或磁控靶，也可弧源与磁控靶共同安装，可根据用户的工艺要求配置
3. 采用自动控制系统，将镀膜前后、镀膜工艺过程和停机过程自动运行等集成于一体，可将工艺过程存储为生产记录，并选择设置好的工艺菜单。