TH102型热蒸发镀膜系统

2017-02-17 点击量：

1. 适用于铟等金属材料的蒸发镀膜
2. 由真空镀膜室、蒸发源、工件架、分子泵真空获得和测量系统、膜厚控制仪、机架及电气控制系统等组成
3. 配置多组蒸发源，均有电动挡板，多个水冷电极，蒸发源交替使用
4. 工件架可放置不同尺寸样品，镀膜均匀性良好，蒸发距离较远，转速连续可调，样品盘水冷