MS-DZS600型金属电极薄膜物理气相沉积系统

2017-03-09 点击量：

1. 用于制备金属电极薄膜
2. 热蒸发源多组，水冷电极多根，蒸发舟多组，蒸发源配独立电动挡板，配有 E型电子枪，水冷坩埚多个
3. 配有磁控靶，靶内水冷，配有均气环和电动挡板，靶基距连续可调，镀膜均匀性满足±5%
4. 样品台可放置不同尺寸样品，配电动挡板，水冷，转速连续可调，样品台可加热
5. 进样室内为样品库，可放多块样品，样品通过磁力传递机构将其从样品库中取下，传递到磁控溅射或蒸发镀膜室的样品台上，也可将其从样品台上取下，传递回到样品库中