LSJ-F型离子溅射镀膜机

2017-03-09 点击量：

1. 可实现离子束工件预清洗、离子源溅射沉积、离子源辅助溅射沉积，同时具有离子束中和功能，形成中性离子束
2. 用于镀制金属薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、磁性薄膜、光学薄膜等。除了镀样品平面，在结构上也可以设计成微电子器件侧面电极镀膜。
3. 最多安装四个靶材，水冷，彼此不被污染，计算机控制实现靶材换位
4. 样品台水冷，可转动，可安装样品盘，膜厚均匀性良好，样品可加热