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化学气相沉积设备

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高温CVD材料制备设备

2017-03-09 点击量：

1. 用于实验室研制CVD材料的小型装置，使用灵活方便
2. 通过30KW高频感应线圈加热，对材料10min内可升温至1700℃，可恒温工作两小时以上
3. 采用雷泰双色红外高温计进行测量

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