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化学气相沉积设备

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微波加热C还原MgO设备

2017-02-16 点击量：

1. 由真空炉体、炉盖、微波加热器、隔热屏、冷凝器、真空获得与测量系统、温控电源、机架等组成
2. 真空炉体采用微波加热，通过调节微波功率实现温度可控可调
3. 炉盖可电动升降

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