CVD真空镀膜设备

2017-02-16 点击量：

1. 设备是与美国西南研究院(SwRI)合作设计制造，用于对工件表面沉积类金刚石薄膜(DLC)，提高工件表面硬度、摩擦或高温性能，可用于汽车零件、蜗轮叶片、刀具、玻璃等工业领域的防高温、耐腐表面工程处理
2. 由真空室、观察窗、照明灯、扩散泵抽气机组、真空测量、充气系统、总控电源、中心水站及机架等部件组成
3. 真空室外表面抛光，真空室内设有支座，可放置较重的工件
4. 系统采用计算机控制，用PLC配合触摸屏集中控制