静电悬浮扭摆超高真空系统

2017-03-07 点击量：

1. 由真空室、高精度回转台、磁阻尼系统、真空抽气及测量系统、电源及计算机控制系统等组成
2. 真空室轴线与四通长管的长轴线的夹角<0.1°；小支撑盘法线与四通长管长轴线的夹角<0.1°