磁过滤弧与回旋式磁控溅射复合镀膜设备

2017-02-15 点击量：

1. 通过磁过滤装置选择尺寸比较一致的粒子，在工件表面沉积致密均匀的薄膜，大大降低表面粗糙度，满足表面改性的需求
2. 直流磁过滤弧源多套，可镀复合膜层，大颗粒过滤率85-90%， 外形美观，成膜质量好
3. 矩形磁控溅射靶多套，靶基距连续可调，可镀复合膜层
4. 样品台公自转结合
5. 真空获得系统为旋片泵+罗茨泵+低温泵