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PVD磁过滤弧设备

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GLH200B/D单室/双室磁过滤直流电弧镀装置

2017-02-15 点击量:

1. 磁过滤弧源大颗粒过滤率85-90%,外形美观,成膜质量好
2. 真空镀膜室正背面分别开门,全不锈钢结构,外表面喷砂处理,外形美观
3. 样品台可旋转,转盘绝缘要求2000伏
4. 采用触摸屏计算机控制,自动/手动转换功能